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ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm DAU-20

  • 機械工具

メーカー希望小売価格: ¥187,000 (税別)

¥179,099
¥197,009 (税込)
送料: ―(ご利用ガイド通り)
商品コード: 398-1533
標準納期:5日
発注単位:1台
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メーカー名
アルバック
製造メーカー品番
DAU-20
製造メーカー品番2

商品スペック

商品説明
●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸着搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環・排気用。
●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置
●3段排気方式
●接ガス部耐食性
●一台から異電圧に別作対応
●到達圧力(KPa):0.2
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
商品属性
●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
●到達圧力(Pa):200
●吸気口径(mm):10
●電源(V):単相100
●全幅(mm):161
●全長(mm):327
●全高(mm):217
●電源コード長さ(m):1.8
取り扱い注意事項
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
セット内容
質量
7.500KG
原産国
日本
RoHS
適合


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